Reaktsioonivõime on tugev. Kui seal on vesi ja hapnik, reageerib see elektriliste materjalide ja veega veelgi, lagunedes ja tekitades mürgiseid või väga mürgiseid gaase. Need mürgised gaasid kahjustavad peamiselt inimkeha hingamisteid. Mürgistuse järgselt tekivad sellised kõrvaltoimed nagu külmetus, nahaallergia, iiveldus ja oksendamine, väsimus jne. Suurte annuste sissehingamisel tekivad tõsisemad tagajärjed.
Seetõttu tuleb SF6 seadmete hoolduse ja katsetamise ajal võtta järgmised kaitsemeetmed:
(1) Töökoht peab olema tugeva ventilatsiooniga ja hoolduspersonal peab olema tuulepoolses asendis;
(2) kandke gaasimaski ja kaitsekindaid;
(3) koguge välja lastud gaas tagasi või suunake gaas kanalisatsiooni kanali kaudu, mitte ei juhi seda otse atmosfääri;
(4) Enne vaheaega või pärast tööd peske nägu, kael, käed ja käed seebi ja rohke veega;
(5) Juhuslikul kokkupuutel suure gaasiannusega tuleb koheselt pesta, vahetada riided ning minna õigeaegselt haiglasse jälgimisele ja ravile.