Fourier' teisenduse infrapunaspektroskoopia (FTIR) analüsaatorit kasutatakse pooljuhtide tootmises. FTIR on spektraalanalüüsi instrument, mis kasutab infrapunaspektroskoopiat lisandite kontsentratsiooni analüüsimiseks Fourier' teisenduse kaudu. Spektromeeter koosneb peamiselt valgusallikast (ränisüsinikvarras, kõrgsurve elavhõbedalamp), Michelsoni interferomeetrist, detektorist ja interferomeetrist
Infrapunavalgusallika S kiirgav infrapunavalgus kollimeeritakse paralleelseks infrapunakiireks ja siseneb interferentsisüsteemi. Pärast interferomeetriga reguleerimist saadakse interferentsi valgusvihk. Häiretuli läbib näidist Sa, et saada spektraalset teavet sisaldav interferentssignaal, mis jõuab detektorini D ja seejärel muundab D selle elektriliseks signaaliks. Häiresignaal on siin ajafunktsioon, mis on häiresignaali joonistatud häiremuster. , ja selle horisontaaltelg on liikuva peegli liikumisaeg või kaugus. See interferentsimuster saadetakse A/D-muunduri kaudu arvutisse ja arvuti teostab kiireid Fourier' teisenduse arvutusi, et saada infrapunaspekter, mille horisontaalteljeks on lainearv. Seejärel saadetakse see läbi D/A muunduri plotterile, et joonistada väga tuttav standardne infrapuna neeldumisspekter.
